須穎
博士/教授/博士生、博士后導(dǎo)師/微納檢測(cè)與運(yùn)動(dòng)控制研究院主任
英國注冊(cè)工程師(CEng), 英國機(jī)械工程院會(huì)員(MIMechE)
主要研究方向：
1.超精密檢測(cè)技術(shù)
2.微納定位控制技術(shù)
3.圖像增強(qiáng)技術(shù)
4.精密六自由度平臺(tái)設(shè)計(jì)
專長(zhǎng)與經(jīng)驗(yàn)概述：
l 近20年在英國和美國開發(fā)超精密運(yùn)動(dòng)控制新技術(shù)和新產(chǎn)品的工業(yè)經(jīng)驗(yàn)。
l 多年在高科技公司從事技術(shù)研發(fā)、市場(chǎng)開發(fā)、銷售、項(xiàng)目管理及企業(yè)管理的經(jīng)驗(yàn)。
l 精通納米和亞納米范圍的精密測(cè)量技術(shù)和位移/定位控制技術(shù)，并具有利用這些技術(shù)解決超精密運(yùn)動(dòng)控制和動(dòng)態(tài)分析問題的豐富經(jīng)驗(yàn)。
l 多年從事超精密半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的設(shè)計(jì)和研制工作。
l 熟悉現(xiàn)代掃描顯微技術(shù)（AFM、X射線顯微鏡），熟悉該類儀器的產(chǎn)品開發(fā)和應(yīng)用。
l 曾為IBM、Seagate、Quantum、KLA、Fujitsu、Sony等國際著名公司的定制項(xiàng)目。
l 開發(fā)了一系列的納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，其中許多產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)居于世界領(lǐng)先。合作公司大多為國際上技術(shù)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備制造商和微納尺寸上表面測(cè)試與電子顯微鏡、掃描顯微鏡制造商，如：Nikon、KLA-Tencor、Veeco、FEI、JEOL、Zygo等。
榮譽(yù)：
2017年被評(píng)選為天津市武清區(qū)杰出人才
2012年08月至今，遼寧省首批“十百千高端人才引進(jìn)工程”，榮獲“遼寧省百人”榮譽(yù)稱號(hào)
2016年11月至今，中國計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)第七屆計(jì)量?jī)x器專業(yè)委員會(huì) 常務(wù)委員
2016年10月至今，北京市射線成像技術(shù)與裝備工程技術(shù)研究中心技術(shù)委員會(huì) 委員
美國精密工程學(xué)會(huì)會(huì)員，學(xué)術(shù)雜志《Precision Engineering》 審稿人
2009年回國至今：
l 項(xiàng)目開發(fā)
通過承擔(dān)多項(xiàng)科技部的項(xiàng)目，開發(fā)出國際先進(jìn)水平的X射線三維顯微成像和納米定位技術(shù)和產(chǎn)品。
X射線顯微成像設(shè)備的成功研發(fā)：在X射線顯微成像的若干項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破（探測(cè)器、精密樣品臺(tái)、成像方法和算法等），成像空間分辨率達(dá)到500nm，達(dá)到國際微米CT最先進(jìn)水平。
納米定位技術(shù)的成功研發(fā)：成功開發(fā)出了整套的納米定位平臺(tái)技術(shù)和產(chǎn)品，包括納米電容傳感器和驅(qū)動(dòng)器、先進(jìn)的DSP控制器以及基于柔性鉸鏈的納米定位平臺(tái)機(jī)構(gòu)等，實(shí)現(xiàn)了0.1納米分辨率的閉環(huán)控制納米臺(tái)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。
l 創(chuàng)辦企業(yè)
先后創(chuàng)辦了東營三英精密工程研究中心、天津三英精密儀器股份有限公司（該公司成立于2013年11月，已于2016年8月份在中國新三板上市）、三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司等三家公司。三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司成立于2015年12月，成立至今建立起了50多人的研發(fā)和工程團(tuán)隊(duì)，產(chǎn)業(yè)化第一年實(shí)現(xiàn)銷售收入1000萬元以上，并受到國家發(fā)展改革委，科技部基金委及地方政府的高度重視和支持。公司核心技術(shù)集精密傳感、精密驅(qū)動(dòng)、精密機(jī)械、精密控制、精密集成等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體，整體技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際領(lǐng)先水平。研發(fā)成果填補(bǔ)了國內(nèi)空白，打破了西方對(duì)中國的技術(shù)壁壘，為中國制造裝備的產(chǎn)業(yè)升級(jí)、轉(zhuǎn)型提供了關(guān)鍵技術(shù)和打造了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，助力實(shí)現(xiàn)“中國制造2025”。2017年6月，公司成功承接了科技部2017年度“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”的重點(diǎn)科技研發(fā)項(xiàng)目，三英精控成為天津市唯一一家入選科技部重點(diǎn)科技研發(fā)項(xiàng)目的企業(yè)。
主要科研項(xiàng)目：
l 2011年（科技部）國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重點(diǎn)專項(xiàng)（6318萬元）：“X射線三維顯微成像檢測(cè)系統(tǒng)研制與應(yīng)用開發(fā)”項(xiàng)目總負(fù)責(zé)人。
l 2012年（科技部）國家科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目： “微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”, 課題九——納米位移定位控制技術(shù)和系統(tǒng)的研發(fā)（327萬元）課題負(fù)責(zé)人。
l 2017年（科技部）國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重點(diǎn)專項(xiàng)（423萬元）：“高精度納米位移平臺(tái)的開發(fā)與應(yīng)用”（項(xiàng)目編號(hào)：2017YFF0105900），項(xiàng)目總負(fù)責(zé)人。
